

一、概述
我公(gong)司(si)生(sheng)產的(de)(de)(de)不銹鋼硅(gui)(gui)烷燃燒塔,主(zhu)要用于單晶(jing)硅(gui)(gui)、多晶(jing)硅(gui)(gui)行(xing)業(ye)生(sheng)產中(zhong)產生(sheng)的(de)(de)(de)硅(gui)(gui)烷尾(wei)氣(qi)凈(jing)化(hua)。該(gai)設備的(de)(de)(de)成功應用,主(zhu)要是(shi)我公(gong)司(si)技(ji)術人員對國外半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)凈(jing)化(hua)硅(gui)(gui)烷尾(wei)氣(qi)技(ji)術方(fang)面的(de)(de)(de)消化(hua)吸收,來(lai)滿(man)足國內太陽(yang)能(neng)、光能(neng)行(xing)業(ye),半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)及CVD化(hua)學氣(qi)體(ti)沉積工藝中(zhong)產生(sheng)的(de)(de)(de)硅(gui)(gui)烷氣(qi)體(ti)凈(jing)化(hua)。
二、工作原理
根(gen)據硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)尾(wei)氣與空(kong)氣接觸(chu)而自燃(ran)(ran)(ran)(ran)的特點,生(sheng)產工藝(yi)中(zhong)產生(sheng)的硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)尾(wei)氣由管道進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)YZR 型不銹鋼(gang)硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)筒進(jin)(jin)(jin)行(xing)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li),經(jing)過(guo)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)筒處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)的尾(wei)氣再由管道進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)YZR 型不銹鋼(gang)硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)塔(ta)(ta)進(jin)(jin)(jin)行(xing)二(er)(er)次燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li),燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)后的氣體進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)塔(ta)(ta)的噴淋(lin)室進(jin)(jin)(jin)行(xing)一(yi)次噴淋(lin)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)再穿過(guo)填料層(ceng)進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)第二(er)(er)次噴霧處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li),使(shi)尾(wei)氣與中(zhong)和循環(huan)液(ye)(ye)進(jin)(jin)(jin)行(xing)充分的逆向(xiang)接觸(chu)反應,然后通過(guo)脫(tuo)液(ye)(ye)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)后由抽風機排出(chu)。
三、產品外形

四、流程示意
