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YZR不銹鋼硅烷燃燒塔

一、概述

   我公(gong)司(si)生(sheng)產的(de)(de)(de)不銹鋼硅(gui)(gui)烷燃燒塔,主(zhu)要用于單晶(jing)硅(gui)(gui)、多晶(jing)硅(gui)(gui)行(xing)業(ye)生(sheng)產中(zhong)產生(sheng)的(de)(de)(de)硅(gui)(gui)烷尾(wei)氣(qi)凈(jing)化(hua)。該(gai)設備的(de)(de)(de)成功應用,主(zhu)要是(shi)我公(gong)司(si)技(ji)術人員對國外半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)凈(jing)化(hua)硅(gui)(gui)烷尾(wei)氣(qi)技(ji)術方(fang)面的(de)(de)(de)消化(hua)吸收,來(lai)滿(man)足國內太陽(yang)能(neng)、光能(neng)行(xing)業(ye),半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)及CVD化(hua)學氣(qi)體(ti)沉積工藝中(zhong)產生(sheng)的(de)(de)(de)硅(gui)(gui)烷氣(qi)體(ti)凈(jing)化(hua)。

二、工作原理

    根(gen)據硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)尾(wei)氣與空(kong)氣接觸(chu)而自燃(ran)(ran)(ran)(ran)的特點,生(sheng)產工藝(yi)中(zhong)產生(sheng)的硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)尾(wei)氣由管道進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)YZR 型不銹鋼(gang)硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)筒進(jin)(jin)(jin)行(xing)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li),經(jing)過(guo)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)筒處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)的尾(wei)氣再由管道進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)YZR 型不銹鋼(gang)硅(gui)(gui)烷(wan)(wan)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)塔(ta)(ta)進(jin)(jin)(jin)行(xing)二(er)(er)次燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li),燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)后的氣體進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)燃(ran)(ran)(ran)(ran)燒(shao)(shao)塔(ta)(ta)的噴淋(lin)室進(jin)(jin)(jin)行(xing)一(yi)次噴淋(lin)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)再穿過(guo)填料層(ceng)進(jin)(jin)(jin)入(ru)(ru)(ru)第二(er)(er)次噴霧處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li),使(shi)尾(wei)氣與中(zhong)和循環(huan)液(ye)(ye)進(jin)(jin)(jin)行(xing)充分的逆向(xiang)接觸(chu)反應,然后通過(guo)脫(tuo)液(ye)(ye)處(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)(li)(li)后由抽風機排出(chu)。  

三、產品外形

 

四、流程示意

YZR不銹鋼硅烷燃燒塔
我公司生產的不銹鋼硅烷燃燒塔,主要用于單晶硅、多晶硅行業生產中產生的硅烷尾氣凈化。該設備的成功應用,主要是我公司技術人員對國外半導體行業凈化硅烷尾氣技術方面的消化吸收,來滿足國內太陽能、光能行業,半導體行業及CVD化學氣體沉積工藝中產生的硅烷氣體凈化
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